Elektrochemisches Ätzen bietet die Möglichkeit, dotierungsabhängige Ätzstopps zu realisieren, um die Schichtdickenvariation entscheidend zu minimieren. Diese Möglichkeit wird derzeit mit ...

anisotropes Ätzen, mikrotechnologisches Ätzverfahren, bei dem man die Abhängigkeit der Ätzrate von der Kristallrichtung einer zu bearbeitenden monokristallinen Substanz (meist Silizium) ausnutzt.